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    技術(shù)路線既然確認，那么接下來就是如何將其實現(xiàn)了。
    王中軍作為實驗室的負責(zé)人，并不需要事無巨細的全面參與進去，更多的還是掌握方向和協(xié)調(diào)與督促進度。
    想通過原子力顯微鏡來刻畫光柵，最大的攔路虎看來就是硅探針的問題了。
    既然要求是100納米分辨率的光柵，那么探針的針尖應(yīng)該至少在50納米。
    所謂光柵，其實就是一排透明和不透明交替的寬度相等的玻璃片。它的分辨率，就是一組透明和不透明交替刻痕的總寬度。如果這一組的寬度是100納米，那么不透明刻痕的寬度就應(yīng)該是50納米。
    想劃出一條50納米寬的刻痕，當然就需要50納米細的針尖了。
    “我們所有的要求都集中在這跟探針上面，我們的刻痕是50納米，但我們的分辨率卻不能只有50納米。”
    王中軍頂著一頭有些散亂的頭發(fā)，充血的眼睛看起來像是有些睡眠不足，但說話的聲音卻是中氣十足。
    他用一支筆，指著幕布上的投影，接著給實驗室里的其他研究員布置任務(wù)：：“探針材質(zhì)必須是硅，我們的檢材不會是絕對平滑，所以必須確保探針斷裂也不會對材料造成污染。”
    “它的形狀應(yīng)該是一個梯形，針尖是50納米寬的平面，也就是500個硅原子的寬度。”
    王中軍想了想，補充了一句：“之前我認為用針尖直接敲擊材料，這個思路是不合適的。硅敲擊硅，我們無法保證探針上的硅完整性，也就是說敲擊的寬度是不可預(yù)測的。所以直接敲擊材料不合適，我們還需要用探針去除光刻膠，最后通過蝕刻和離子注入來實現(xiàn)光柵。”
    “那么我們現(xiàn)在需要解決的就是三個問題，敲擊探針、定位探針，以及滿足各向異性的蝕刻。”
    “敲擊探針……老鐘，這個就由你來負責(zé)。技術(shù)上基于硅的特性，可以先嘗試單晶硅生長法。”
    “定位探針我來做，這個暫時還沒有什么思路。”
    “蝕刻和離子注入，我考慮采用干法刻蝕技術(shù)，相關(guān)的刻蝕機和PVD設(shè)備應(yīng)用與改造……這個我們實驗室無法單獨完成，秦釋你來與相關(guān)其他實驗室進行對接。”
    “咱們實驗室分三組，一組跟老鐘，一組跟我，秦釋你暫時先帶一個研究生去做協(xié)調(diào)工作。”
    ……
    王中軍臨危不亂，實驗室也就有了主心骨。雖然要跨越式發(fā)展技術(shù)必然會面臨巨大的困難，但一想到這個科研項目背后的意義，所有人的內(nèi)心中都充滿了必須傾力而為的使命感。
    鐘大華是個老研究員了，從光機所借調(diào)到新科之后，雖然沒有什么特別突出的貢獻，但他經(jīng)手的每一個實驗項目都從來沒有出錯過。
    這五六年里，新科不僅為他漲了工資，而且還幫他把在長春的家人接過來安排了工作又解決了孩子上學(xué)的問題，最近又剛剛給他分配了一套一百二十平米的房子。
    這樣的待遇比起社會上那些做生意、做官的，可以說并沒有差上多少了。
    “嗯，具體的工作不能多說，不過最近兩個月我可能會比較忙。”
    鐘大華拉開資料室機房的房門，脖子上夾著手機有些歉然的說道：“你和孩子說，他的生日等我回去了再補上吧，生日禮物隨他挑。你生活上如果有什么麻煩，可以去找黃姐，組織上總幫得上忙的。”
    “多的我就不說了，放心，我會注意身體的，保證每天都會電話報平安……你也是，一定別太累了，別總跟兒子生氣，我小時候也跟他一樣，長大了說不定就開竅知道學(xué)習(xí)了……”
    “行了，我去忙，先不說了。”
    “嘖嘖，老鐘你這妥妥的三好男人啊，‘保證每天都會電話報平安’，哈哈，嫂子管的這么嚴的嘛？”
    跟著鐘大華一起走進來吳牧是個年輕人，看他的樣子就知道是無家一身輕。
    “你個光棍漢，懂個啥？怎么是管的嚴，明明是她沒我不行！“
    “你可拉倒吧，我又不是沒看過你跪搓衣板的樣子。”
    說著話，吳牧還拍了拍自己胸前抱著的包袱，嘻嘻笑道：“你看咱，鋪蓋卷在哪家就在哪，別提多自在了！”
    “今天我就要在資料室打地鋪，先加他一個星期的班！”
    說笑歸說笑，進入工作狀態(tài)之后，鐘大華和吳牧都是非常認真的性格。然而在工作了一段時間之后，卻突然發(fā)現(xiàn)——他們的計算機，竟然連不上美國的數(shù)據(jù)庫了。
    “怎么回事，我們連接不上美國的公開數(shù)據(jù)庫了？”
    “等一下，我搜搜其他領(lǐng)域的內(nèi)容。”
    鐘大華想了想，又隨手搜了一個生物學(xué)的關(guān)鍵詞，搜索結(jié)果迅速的出現(xiàn)在了屏幕上面。
    “我給網(wǎng)管打個電話，問問是不是咱們的問題。”吳牧抓起身邊的座機，打了個內(nèi)部號碼。
    “喂，網(wǎng)絡(luò)中心嗎？對，我半導(dǎo)體所的，什么？你們也接到了大量的反饋，懷疑是美國的數(shù)據(jù)庫對半導(dǎo)體類的資料鎖了中國的IP？這不可能吧，這不符合學(xué)術(shù)精神啊……”
    “好吧，我知道了，有消息請你們盡快通知一下。”
    吳牧有些目瞪口呆的看向鐘大華，不可置信的說道：“網(wǎng)絡(luò)中心說，目前看來可能是半導(dǎo)體類數(shù)據(jù)庫鎖了中國IP，禁止了我們的賬號訪問。”
    鐘大華雖然早有猜測，但顯然對此也是一付見了鬼的樣子。封鎖公開的文獻數(shù)據(jù)庫，這也太挑戰(zhàn)現(xiàn)行學(xué)術(shù)體系了吧。
    “美國人是急了啊，我知道會有這一天，但沒想到會來的這么快。”
    “我們在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)γ绹送{太大了，兔子皮披不住啦！”吳牧坐回位置上，想了想撇嘴道：“最近的局勢這么緊張，說到底還不是我們和美國在半導(dǎo)體領(lǐng)域競爭造成的。”
    鐘大華眉頭緊皺，聲音低沉的說道：“封鎖IP最多讓我們麻煩點，其實起不到什么真正的作用。但這件事看的不是實際效果，而是象征意義。如今學(xué)界還是美國人領(lǐng)頭，人家要制裁我們，我們就得像伊拉克一樣受著。”
    “憑什么受著？”
    吳牧反而跳了起來，哼道：“我就不信，沒有張屠戶就得吃帶毛豬啦？沒了美國人的數(shù)據(jù)庫，我們一樣能把項目做好！封鎖，最好封鎖個十年、二十年，到時候我們什么都有了！”
    吳牧在資料室里跳腳，鐘大華卻并沒有多說什么，反而轉(zhuǎn)頭開始繼續(xù)工作。只是他敲擊鍵盤的力度，明顯也上升了很多。
    工作總是做不完的，沒有美國數(shù)據(jù)庫也還有中文數(shù)據(jù)庫和歐洲數(shù)據(jù)庫，甚至很快一些其他國家的公司還找上門來，提供起代查詢業(yè)務(wù)來。
    只是正如鐘大華所說，這就是個惡心人的態(tài)度，只要其他國家還能查詢美國數(shù)據(jù)庫，那封鎖就毫無意義。甚至連提供代查詢業(yè)務(wù)的公司都賺不了幾個錢，因為只要在中國之外有一臺能連接其他國家學(xué)術(shù)機構(gòu)的電腦，就能登陸美國數(shù)據(jù)庫。這樣毫無門檻的業(yè)務(wù)，也就提不起什么價格了。
    但這對于此時資料室里的鐘大華和吳牧來說，并不能讓他們的屈辱感少上多少。
    “老鐘，我突然有一個想法。”
    晚上十一點半，吳牧突然從顯示器前抬起頭來，頂著兩個黑眼圈，愣愣的說道。
    “我們得回去，回去原來的路線上。”
    “什么？”鐘大華也愣了一下，不明所以：“什么原來的路線？濕法蝕刻？”
    “對，濕法蝕刻。”
    吳牧重重的點了點頭：“你還記得，我們采用濕法蝕刻的時候，最大的麻煩是什么嗎？”
    “最大的麻煩，濕法蝕刻的各向同性吧，這會造成刻痕很容易就失去精度。”
    “對，各向同性。”
    各向同性，也就是腐蝕劑在侵蝕材料的過程中，不會因為方向不同而有所變化。向下侵蝕的同時，腐蝕劑也會向左右侵蝕。在蝕刻中如果各向異性太好，就會發(fā)生把光刻膠遮擋的部分，從左右兩側(cè)給侵蝕掉的問題。本來不需要侵蝕的部分也會被侵蝕，自然精度就無法保證了。
    吳牧說到這里，忽然眼睛里多出了一絲神采：“但是你還記得，我們濕法蝕刻如果失敗了，最終被光刻膠遮擋的部分，會形成什么樣的形狀嗎？”
    響鼓不用重錘，鐘大華的腦海里迅速回想起自己經(jīng)歷過的那些失敗實驗。
    各向同性的腐蝕劑向左右侵蝕，最終會在側(cè)面侵蝕出一個坡型，就像一個小水洼一樣。
    想象一下如果一條光刻膠下面左右有兩個“小水洼”，那它們的中間位置不就是一個針尖了嗎？
    吳牧興奮的說道：“如果我們用氫氟酸和硝酸來腐蝕單晶硅，因為這種腐蝕劑的腐蝕速度可以用配比來控制，所以我們就可以通過配比和時間控制，來得到我們希望得到的針尖寬度了！”
    “這！”
    鐘大華呼吸頓時急促起來，他的預(yù)感中這應(yīng)該會是一條可行的路線！
    “只是，為了確定腐蝕劑的配比和精確的時間，我們恐怕要大海撈針了！”